bedrijfsnieuws over Hoe schoon vereist de productie van elektronische chips?

In het proces van het produceren van elektronische chips verschillen de eisen aan zuiverheid in de verschillende productiegebieden,voornamelijk gebaseerd op de norm ISO 14644-1 en de precisiebehoeften van het productieproces om te bepalenHier zijn de specifieke vereisten:

1. Waferproductiegebied

Lithografisch gebied:De hoogste reinigingsvereisten, meestal ISO 1-3, moeten deeltjes van 0,1 micron en hoger beheersen.kleine deeltjes kunnen fouten veroorzaken in het fotolithografische patroon, die van invloed zijn op de prestaties van de chip.
Graaf- en afzettingsterreinen:hoge reinigingsvereisten, in het algemeen ISO 3-5, moeten deeltjes van 0,3 micron en hoger beheersen.

2. Verpakken van het testgebied

Verpakkingsoppervlak:De vereisten voor middelmatige schoonheid, meestal ISO 5-7, moeten deeltjes van 0,5 micron en hoger beheersen.
Testgebied:De reinigingsvereisten zijn laag, in het algemeen ISO 7-8, moeten deeltjes van 0,5 micron en hoger worden beheerd.

3. Hulpgebied

Chemische opslagruimte:De eisen aan reinheid zijn laag, meestal ISO 7-8.
Onderhoudsgebied van de apparatuur:minimale reinigingsvereisten, in het algemeen ISO 8-niveau.

4- Personeels- en materiaaltoegangsgebied

Kleedkamers en luchtdouches:De reinigingsvereisten zijn gemiddeld, meestal ISO 5-7.
Toegangsgebied voor materieel:de reinigingsvereisten zijn laag, over het algemeen op ISO 7-8-niveau.
Maatregelen voor het behoud van de schoonheid
Luchtzuiveringssysteem:Uitgerust met een hoog-efficiëntiefilter (HEPA) en een ultra-hoog-efficiëntiefilter (ULPA) om de luchtzuiverheid te waarborgen.
Organisatie van de luchtstroom:Verticale eenrichtingsstroom wordt meestal gebruikt in de lithografie regio, en niet-eenrichtingsstroom kan worden gebruikt in andere regio's.
Temperatuur- en luchtvochtigheidscontrole:De temperatuur wordt over het algemeen geregeld bij 22 °C ±2 °C en de luchtvochtigheid bij 45%-65% RH.
Positieve drukregeling:Er moet een positief drukverschil van 5-10 Pa worden gehandhaafd tussen het schone gebied en het onreine gebied.

Samenvattend kunnen we zeggen dat de reinigingsvereisten voor de productie van elektronische chips variëren afhankelijk van het proces en de regio, de lithografie- en etseringsgebieden hebben hoge reinigingsvereisten,terwijl de verpakkings- en testgebieden relatief laag zijnDeze strenge reinigingsnormen zijn essentieel om de kwaliteit van de chipproductie te waarborgen.