Het effect van de reinigingsnormen op de chipkwaliteit komt voornamelijk tot uiting in de volgende aspecten:
Tijdens het productieproces van de chip kunnen kleine deeltjes (zoals stof en onzuiverheden) problemen veroorzaken, zoals defecten van het lithografische patroon, kortsluiting of open circuit,die de prestaties en betrouwbaarheid van de chip ernstig beïnvloedenIn milieus met een hoge zuiverheid, zoals ISO 1-3, kunnen deeltjes van 0,1 micron en hoger effectief worden gecontroleerd, waardoor de nauwkeurigheid van belangrijke processen zoals lithografie, etsen en afzetting wordt gewaarborgd.
Parameters zoals temperatuur en vochtigheid, luchtsnelheid en drukverschil in de clean room zijn cruciaal voor de stabiliteit van de chipproductie.Precieze milieucontrole kan processchommelingen verminderen en de productie-efficiëntie en -opbrengst verbeteren.
Door het positieve of negatieve drukverschil tussen verschillende schone gebieden te handhaven,de schoonruimte kan effectief voorkomen dat lucht terugvult in gebieden met een lage schoonheid en kruisbesmetting voorkomenDit is met name belangrijk voor de productie van precisieschips.
Statische elektriciteit is een veel voorkomend probleem in de productie van chips en kan schade of afname van de prestaties van de chip veroorzaken.De cleanroom beschermt de chipkwaliteit door de opwekking en accumulatie van statische elektriciteit te verminderen door antistatisch ontwerp (zoals antistatische vloer, werkkleding, enz.).
Hoewel hoge reinigingsnormen de bouw- en exploitatiekosten zullen verhogen, kunnen zij door het verminderen van de verontreiniging grotere economische voordelen voor ondernemingen opleveren.verbetering van de opbrengst en productie-efficiëntie.
Verschillende gebieden van chipproductie (zoals lithografie, etsen, verpakking) hebben verschillende eisen aan zuiverheid.Een redelijke keuze en controle van de zuiverheidsniveaus (zoals ISO 1-3 in het gebied van lithografie en ISO 5-7 in het gebied van verpakking) kunnen voldoen aan de behoeften van verschillende processen en de chipkwaliteit waarborgen.
Samengevat is de reinigingsnorm een belangrijke factor om de productkwaliteit te waarborgen, de productie-efficiëntie te verbeteren en de productiekosten in de chipproductie te verlagen.
Contactpersoon: Mrs. Zhao
Tel.: 86 20 13378693703
Fax: 86-20-31213735