bedrijfsnieuws over Wat is de algemene klasse van modulaire cleanrooms in halfgeleiderfabrieken?

Wat is de algemene klasse van modulaire cleanrooms in halfgeleiderfabrieken?

Modulaire cleanrooms in halfgeleiderfabrieken zijn ontworpen om te voldoen aan de strenge luchtreinigingsnormen die worden bepaald door de specifieke productieprocessen.voornamelijk conform het ISO 14644-1 classificatiesysteemDe meest voorkomende niveaus zijn de volgende:

1. ISO-klasse 4 (gelijkwaardig aan Fed-Std-209E-klasse 10)Dit is het hoogste niveau dat doorgaans in modulaire vorm wordt geïmplementeerd.en EUV (Extreme Ultraviolet) lithografieomgevingenDe modulaire cleanrooms bereiken dit door middel van dichte arrays van HEPA- of ULPA-filter-fanfilter-eenheden (FFU's) in het plafond.,Ze zijn geïntegreerd met strenge controles voor temperatuur, vochtigheid en trillingen.

2. ISO-klasse 5 (klasse 100)De meeste modulaire cleanrooms voor processen zoals diffusie, etsen, ionenimplantatie,en chemische mechanische planarisatie (CMP) in mainstream logica en geheugen fabrieken zijn gebouwd op ISO 5De modulaire constructie zorgt voor een gecontroleerde omgeving waarbij de deeltjeshoeveelheid ≥ 0,5 μm beperkt blijft tot 3,520 per kubieke meter.vervolgingen voor bedrijfsdoeleinden, en terug lucht plenums.

3. ISO-klasse 6 (klasse 1000): Deze worden gewoonlijk ingezet voor iets minder kritieke zones, zoals bepaalde metrologische gebieden, sommige assemblage- en verpakkingslijnen, waferinspectieposten,en corridors voor de overdracht van schoon materiaal (AMHS)Ze zijn ook geschikt voor de productie van vermogensemiconductoren of apparaten op volwassen procesknooppunten.

4. ISO-klasse 7 (klasse 10.000) en ISO-klasse 8 (klasse 100.000): Modulaire schoonruimtes op deze niveaus hebben ondersteunende en ondersteunende functies.en voorbereidingsgebieden voor het laden/ontladen van wafersZe fungeren als bufferzones om te voorkomen dat besmetting de hogere kernfabriek bereikt.